在科研創新的浪潮中，高精度、高效率的實驗設備是科研機構不可或缺的利器，而專業的設備安裝服務則是確保科研儀器發揮最優性能的關鍵環節。近期，深圳微儀真空技術有限公司（以下簡稱 “微儀真空”）憑借在真空鍍膜領域的技術積淀與服務經驗，為南方科技大學（以下簡稱 “南科大”）材料科學與工程學院，完成了VI-900 型桌面型磁控濺射鍍膜儀的全套專業安裝服務。從設備進場校準到工藝調試驗證，微儀真空團隊以嚴謹的流程、精準的操作，確保設備快速適配南科大科研需求，不僅彰顯了微儀真空 “設備 + 服務” 一體化的專業實力，更為該校材料科學領域的實驗研究注入高效動能。
一、南科大科研需求：桌面型設備的精準適配與高效落地訴求
南科大材料科學與工程學院聚焦 “柔性電子材料”“納米功能涂層” 兩大前沿研究方向，此次引入桌面型磁控濺射鍍膜儀，旨在解決實驗室空間有限、多組學平行實驗需求迫切、學生科研操作便捷性等核心痛點：
（一）空間與場景適配需求
南科大實驗室單工位面積僅 6-8㎡，且需同時容納樣品制備、表征測試等多臺設備，傳統落地式鍍膜儀占地超 1.5㎡，難以靈活部署；而桌面型設備需嚴格控制尺寸（長 × 寬 × 高≤120×80×100cm），同時要兼容實驗室現有 220V 民用電源，避免單獨搭建高壓供電系統，這對設備的集成化設計與安裝的空間規劃提出高要求。
（二）科研效率與操作安全需求
學院 10 個課題組需共享該設備開展實驗，涵蓋 “柔性基底金屬電極鍍膜”“納米涂層抗氧化性能研究” 等不同課題，要求設備安裝后能快速切換工藝參數，且單次調試時間≤30 分鐘；同時，設備需面向本科生開放教學實驗，安裝過程中需同步完成安全防護裝置（如真空腔門聯鎖、高壓預警）的調試，確保學生操作安全。
（三）性能達標與數據可靠性需求
設備需滿足南科大核心實驗指標：鍍膜均勻度偏差≤±3%、膜厚控制精度 0.1nm、極限真空度≤5×10??Pa，安裝后需通過現場制備樣品并檢測性能，驗證設備參數是否符合科研預期，避免因安裝誤差導致實驗數據偏差。
二、專業安裝服務流程：從細節把控到性能驗證
微儀真空組建專項安裝團隊，制定 “3 階段 12 步” 標準化服務流程，結合南科大實驗室場景與科研需求，實現設備精準落地與性能達標：
（一）前期準備：定制化方案規劃（安裝前 7 天）
1. 現場勘測與空間規劃：團隊提前赴南科大實驗室，使用激光測距儀確定設備擺放位置，確保設備與周邊實驗臺、通風櫥的安全距離≥50cm，同時預留維護通道；根據實驗室電源布局，制定電纜走線方案，避免與其他設備線路交叉干擾。
2. 設備預調試與配件檢查：在微儀真空工廠完成設備核心部件（分子泵、濺射靶、膜厚監測儀）的預測試，確保真空系統抽速、靶位電壓穩定性等關鍵參數達標；隨設備配備定制化配件，包括適配不同樣品尺寸的夾具（10×10mm 芯片至 50×50mm 柔性薄膜）、真空腔清潔工具套裝，滿足多場景實驗需求。
3. 需求溝通與培訓預案：與南科大科研團隊確認實驗優先級，明確安裝后需優先驗證的性能指標（如 “柔性 PET 基底鍍銅電極” 的鍍膜均勻度），并制定針對性調試方案；同時準備操作手冊與培訓課件，計劃安裝后開展 2 場專項培訓（課題組負責人操作培訓、學生安全操作培訓）。
（二）現場安裝：精準操作與安全把控（安裝當天，耗時 8 小時）
1. 設備進場與定位固定：采用定制防震托盤運輸設備，避免顛簸導致部件移位；通過水平儀校準設備臺面，確保水平偏差≤0.5°，防止因設備傾斜影響樣品臺旋轉精度；使用膨脹螺絲固定設備底部，避免真空系統運行時產生振動。
2. 系統集成與線路連接：分步完成真空管路（分子泵與真空腔連接）、電路系統（濺射電源、溫控模塊與主控單元接線）的安裝，每一步均通過萬用表檢測線路通斷，確保無短路風險；真空管路接口采用金屬密封墊，涂抹高真空密封脂，減少漏氣點。
3. 安全裝置調試與合規檢查：調試真空腔門聯鎖裝置，確保腔門未關閉時設備無法啟動濺射；設置高壓預警閾值（≥500V 時觸發聲光報警），并與實驗室緊急斷電系統聯動；安裝完成后，邀請南科大安全管理部門現場檢查，確認設備符合高校實驗室安全標準。
（三）性能驗證：科研級調試與數據交付（安裝后 2 天）
1. 真空系統性能測試：啟動分子泵，通過數字真空計實時監測真空度變化，30 分鐘內達到極限真空 5×10??Pa，持續保壓 2 小時，真空度下降率≤0.1Pa/h，驗證真空系統密封性達標；測試真空閥開關響應速度，確保抽真空與放氣過程平穩，避免沖擊樣品。
2. 工藝參數調試與樣品制備：根據南科大需求，調試 “柔性 PET 基底鍍銅” 工藝：設置濺射功率 150W、氬氣流量 20sccm、沉積時間 10 分鐘，現場制備 3 組平行樣品；使用臺階儀檢測樣品膜厚，平均厚度 100nm，偏差 ±2.5%，符合科研指標；通過四探針測試儀測量電極電阻率，結果穩定在 1.7×10??Ω?cm，與理論值偏差≤5%。
3. 操作培訓與文檔交付：為南科大科研人員開展實操培訓，涵蓋 “設備開機流程、工藝參數設置、常見故障排查（如真空度不達標、靶位無輝光）” 等內容，培訓后通過實操考核確保課題組負責人能獨立操作；交付全套技術文檔，包括設備安裝報告（含真空測試曲線、膜厚檢測數據）、保修卡、配件清單，明確后續維護周期（分子泵每 2000 小時保養、濺射靶每 500 次使用后更換）。
三、服務價值落地：賦能科研與教學雙向發展
此次專業安裝服務不僅實現設備快速落地，更直接推動南科大材料科學研究與教學工作的高效開展：
（一）科研效率顯著提升
設備安裝后，南科大課題組單次實驗準備時間從傳統設備的 1 小時縮短至 20 分鐘，10 個課題組共享使用時，設備日均運行時長從 8 小時提升至 12 小時，每月可完成 60 組樣品制備，較之前依賴外校設備測試的周期（平均 7 天 / 組）縮短 80%；在 “柔性電子器件研發” 課題中，團隊利用設備快速篩選出最優電極鍍膜厚度（80nm 銅層），使器件彎曲 1000 次后的導電性能保留率提升至 90%，相關實驗數據已用于撰寫 SCI 論文。
（二）教學實踐安全保障
設備安全防護裝置經調試后，實現 “三重保護”：真空腔門未關嚴時自動切斷濺射電源、高壓模塊異常時觸發緊急停機、真空系統超壓時自動放氣，至今已支持 50 余名本科生完成 “磁控濺射原理與樣品制備” 實驗，操作零安全事故；同時，安裝團隊同步搭建設備操作虛擬仿真系統，學生可通過電腦模擬設備運行流程，降低實體操作失誤率。
（三）長期合作基礎奠定
微儀真空與南科大簽訂 “1 年免費維護 + 終身技術支持” 服務協議，安裝后每月安排工程師遠程巡檢設備運行數據，每季度上門進行真空系統保養；針對南科大后續 “低溫濺射工藝研發” 需求，已規劃在設備上加裝低溫樣品臺（-196℃至室溫），通過模塊化升級進一步拓展設備應用場景。
四、合作意義：從設備服務到科研賦能
此次安裝服務的順利完成，不僅是微儀真空 “設備 + 服務” 一體化能力的體現，更成為高?？蒲性O備落地的標桿案例：對南科大而言，桌面型磁控濺射鍍膜儀的高效安裝，填補了實驗室中小型鍍膜設備的空白，為柔性電子、納米材料等領域的研究提供關鍵實驗平臺；對微儀真空而言，通過深入高?？蒲袌鼍?，進一步優化桌面型設備的安裝服務流程，為后續服務更多高?？蛻舴e累經驗。
未來，微儀真空將持續完善 “定制化安裝 + 本地化服務” 體系，針對高校實驗室特點，推出更多適配空間小、操作便捷、性能可靠的桌面型真空鍍膜設備，同時加強與科研機構的技術聯動，以專業服務助力科研創新，推動材料科學、電子工程等領域的研究突破。
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