車間師傅忙起來常犯的錯：磁控濺射鍍膜儀關機時，忘了關插板閥（腔室和真空泵之間的 “閘門”），第二天開機才發現 —— 這看似小事，卻可能讓真空泵報廢、靶材氧化，修一次少則幾千，多則幾萬。今天就說清忘關插板閥的危害，附應急處理和預防辦法，幫大家避免這種 “低級失誤” 導致的損失。

一、先懂插板閥：它是設備的 “真空防護門”，不能忘關

磁控濺射依賴高真空環境（1×10?3Pa 以下），插板閥裝在腔室和真空泵之間，作用就像 “家門”：

? 開機時打開，讓真空泵抽走腔室空氣，維持高真空；

? 關機時關閉，把腔室和外界、真空泵隔開，防止空氣倒灌、雜質進入。

忘關插板閥，相當于 “家門沒關”，空氣、水汽、油污會順著管路往里鉆，直接傷設備核心部件。

二、忘關插板閥的 3 大危害：從真空泵到靶材，一個都跑不了

1. 真空泵 “進水進油”，直接報廢風險

危害：關機后真空泵停止工作，若插板閥沒關，腔室里的空氣（含水汽）、外界灰塵會倒灌進真空泵：

? 機械泵：水汽會讓泵油乳化（變成乳白色），失去潤滑和密封作用，泵體內部生銹，嚴重時轉子卡死；

? 分子泵：灰塵、油污進入高速旋轉的轉子（轉速達幾萬轉 / 分鐘），會磨壞轉子葉片，導致分子泵 “抱死”，修一次要 1-2 萬。

案例：某光伏廠師傅忘關插板閥，一夜后機械泵油乳化，泵體生銹，換泵油 + 修轉子花了 8000 多，停工 2 天。

2. 靶材 “氧化報廢”，下次鍍膜全是雜質

危害：空氣里的氧氣、水汽會通過未關的插板閥進入腔室，和靶材表面的金屬原子反應，形成氧化層（如鋁靶變灰蒙蒙的氧化鋁、銅靶變綠）：

? 下次開機，氧化層會被離子撞擊濺到基材上，導致膜層有雜質（針孔、氣泡），產品全返工；

? 若氧化層厚，還會讓靶材 “中毒”，功率上不去，只能換靶材（一片銦錫靶要幾千塊）。

3. 腔室 “污染積垢”，清理要花半天

危害：空氣里的灰塵、車間的油污進入腔室，會附著在腔壁、觀察窗上，形成厚厚的污垢：

? 觀察窗臟了，看不清等離子體狀態，沒法判斷鍍膜效果；

? 腔壁污垢會在下次鍍膜時 “掉渣”，污染膜層，清理一次要拆腔室、用酒精 + 無塵布擦，至少花 3-4 小時，耽誤產能。

三、忘關后別慌！3 步應急處理，減少損傷

要是發現忘關插板閥，別直接開機，按這 3 步做：

1. 先關總電源，檢查插板閥狀態：確認插板閥是否真的未關（看閥門指示燈，紅燈是關，綠燈是開），若未關，先手動關閉（按設備上的 “手動關閥” 按鈕）；

2. 檢查真空泵：機械泵看油，分子泵聽聲音：

? 機械泵：打開油標，若油乳化、變色，立刻放掉舊油，加新的專用泵油（別用普通機油）；

? 分子泵：通電后聽是否有異響（正常是輕微嗡嗡聲，有摩擦聲就是轉子受損，別開機，聯系廠家修）；

1. 清理腔室和靶材：

? 腔室：開真空泵抽 30 分鐘，再用氬氣沖洗 2 次（吹走殘留空氣）；

? 靶材：若表面氧化，用 800 目砂紙輕輕打磨，酒精擦干凈，嚴重氧化就換靶。

四、日常預防：2 個小辦法，杜絕忘關閥

1. 貼 “關機提醒貼”：在設備操作面板、電源開關旁貼醒目標簽，寫 “關機必關插板閥！”，視覺提醒；

2. 定 “關機 Checklist”：下班前按清單核對（①關功率電源→②關反應氣體→③關插板閥→④關真空泵→⑤關總電），尤其忙時，對照清單走流程，別憑記憶。

某電子廠用了這兩個辦法后，半年沒再出現忘關插板閥的情況，省了不少維修費 —— 其實這種失誤，只要多一個 “提醒”，就能完全避免。

五、總結：別因 “小事” 傷設備，規范操作最省錢

忘關插板閥看似是 “隨手的錯”，卻會讓設備付出大代價。對車間來說，與其花幾萬修設備，不如多花 10 秒核對關機步驟。要是應急處理后設備仍有問題（如分子泵異響、鍍膜有雜質），別自己拆，找微儀真空這樣的專業團隊上門檢查，避免擴大故障。畢竟設備穩定，才能少停工、多產合格產品。

標簽：磁控濺射鍍膜儀