在半導(dǎo)體芯片鍍導(dǎo)電膜、光伏板鍍減反膜的生產(chǎn)中，常遇到磁控濺射儀 “按啟動(dòng)鍵沒(méi)反應(yīng)，靶材周圍沒(méi)淡紫色等離子體” 的情況 —— 這就是無(wú)法起輝。一旦出現(xiàn)，整條鍍膜線就得停，不僅耽誤產(chǎn)能，還可能讓待鍍基材受潮報(bào)廢。其實(shí)這問(wèn)題多藏在真空、電源、氣體、靶材這 4 個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)里，按順序排查，大多能快速解決。
一、先搞懂：起輝得滿足 “3 個(gè)硬條件”，缺一個(gè)都不行
磁控濺射要形成等離子體（也就是 “起輝”），必須同時(shí)滿足 3 點(diǎn)：
1. 真空達(dá)標(biāo)：腔室真空度得≤1×10?3Pa，空氣太多會(huì)打散離子，沒(méi)法形成穩(wěn)定等離子體；
2. 電源有輸出：得有足夠電壓 / 功率電離氬氣，把氬氣變成帶正電的離子；
3. 氣體適配：得有可電離的氣體（主要是氬氣），沒(méi)氣體或氣體不對(duì)，再高電壓也沒(méi)用。
只要其中一個(gè)條件不滿足，就會(huì)出現(xiàn) “按了啟動(dòng)鍵，設(shè)備沒(méi)動(dòng)靜” 的情況。
二、4 大核心原因 + 車間實(shí)操速修步驟
1. 真空度不達(dá)標(biāo)（最常見(jiàn)，占 40% 故障）
車間場(chǎng)景：某電子廠師傅開(kāi)機(jī)后，真空計(jì)顯示 5×10?2Pa，試了 3 次起輝都沒(méi)反應(yīng)，腔室門還隱約有漏氣聲。
? 表現(xiàn)：真空計(jì)數(shù)值＞1×10?2Pa，起輝時(shí)靶材周圍毫無(wú)反應(yīng)，甚至能聽(tīng)到腔室漏氣的 “嘶嘶” 聲；
? 常見(jiàn)原因：腔室門沒(méi)關(guān)緊、密封圈老化開(kāi)裂（尤其用了半年以上的設(shè)備）、真空泵缺油或故障；
? 速修步驟（30 分鐘搞定）：
① 先檢查腔室門：用力關(guān)緊并擰緊卡扣，若密封圈發(fā)脆、有裂紋，換同規(guī)格硅膠密封圈（記得擦干凈密封面的灰塵）；
② 再查真空泵：機(jī)械泵看油標(biāo)，油位低于刻度線就加專用真空泵油（別加普通機(jī)油，會(huì)損壞泵體）；分子泵若沒(méi)轉(zhuǎn)，先重啟一次，還不轉(zhuǎn)就是泵體故障，聯(lián)系廠家維修；
③ 抽夠真空再試：重新抽真空 30 分鐘，等真空計(jì)顯示≤1×10?3Pa 后，再按起輝鍵。
2. 電源異常（沒(méi)輸出或參數(shù)設(shè)錯(cuò)）
車間場(chǎng)景：某光伏廠開(kāi)機(jī)后，真空度達(dá)標(biāo)，但電源顯示屏顯示 “電流 0A、電壓 0V”，靶材摸起來(lái)冰涼，完全沒(méi)發(fā)熱。
? 表現(xiàn)：真空度合格，但電源無(wú)電流、無(wú)電壓輸出，靶材不發(fā)熱，起輝時(shí)無(wú)任何反應(yīng)；
? 常見(jiàn)原因：電源總開(kāi)關(guān)沒(méi)合閘、過(guò)載保護(hù)開(kāi)關(guān)跳閘（前一次用功率超額定值導(dǎo)致）、起輝電壓設(shè)太低（比如直流電源只設(shè)了 300V，不夠電離氬氣）；
? 速修步驟（20 分鐘搞定）：
① 先查電源柜：打開(kāi)柜門，看總開(kāi)關(guān)是否扳到 “ON” 位，過(guò)載保護(hù)開(kāi)關(guān)若彈起，按下去復(fù)位（復(fù)位前先確認(rèn)功率沒(méi)超額定值）；
② 再調(diào)起輝參數(shù)：直流電源把起輝電壓設(shè) 500-800V，射頻電源把起輝功率設(shè) 100-200W（別一開(kāi)始就設(shè)太高，容易燒電源）；
③ 低壓預(yù)熱試起輝：先開(kāi)低壓預(yù)熱 5 分鐘，再慢慢把功率往上調(diào)，直到靶材周圍出現(xiàn)淡紫色等離子體。
3. 氣體問(wèn)題（沒(méi)通氬氣或管路堵了）
車間場(chǎng)景：某光學(xué)廠師傅開(kāi)機(jī)后，真空、電源都正常，但起輝時(shí)只有微弱火花閃了一下就沒(méi)了，一看氬氣流量計(jì)，指針紋絲不動(dòng)。
? 表現(xiàn)：真空、電源都沒(méi)問(wèn)題，但起輝時(shí)無(wú)等離子體，或只有微弱閃爍，氬氣流量計(jì)沒(méi)讀數(shù)；
? 常見(jiàn)原因：氬氣鋼瓶沒(méi)開(kāi)（忙忘了）、氣體管路被雜質(zhì)堵了（尤其鍍完反應(yīng)膜沒(méi)清管路）、氬氣流量設(shè)太低（＜10sccm，不夠形成離子）；
? 速修步驟（15 分鐘搞定）：
① 先開(kāi)氬氣：擰開(kāi)氬氣鋼瓶閥門（別擰太猛，逆時(shí)針轉(zhuǎn) 1-2 圈即可），看流量計(jì)是否有讀數(shù)，沒(méi)讀數(shù)就檢查管路接頭，用壓縮空氣吹通（從流量計(jì)一端往鋼瓶端吹，把雜質(zhì)吹出去）；
② 再調(diào)流量：把氬氣流量設(shè) 20-50sccm（根據(jù)靶材大小調(diào)整，小靶 20sccm，大靶 50sccm）；
③ 先單用氬氣起輝：要是鍍的是氧化物、氮化物膜，先關(guān)掉氧氣、氮?dú)猓瑔斡脷鍤馄疠x，等等離子體穩(wěn)定后，再慢慢加反應(yīng)氣體。
4. 靶材 / 陰極故障（容易被忽略）
車間場(chǎng)景：某半導(dǎo)體廠起輝時(shí)，靶材一半有微弱等離子體，一半沒(méi)反應(yīng)，拆靶后發(fā)現(xiàn)靶材和電極的接觸處氧化發(fā)黑。
? 表現(xiàn)：起輝時(shí)靶材局部有等離子體、局部沒(méi)反應(yīng)，甚至能聽(tīng)到靶材處有 “滋滋” 的接觸不良聲；
? 常見(jiàn)原因：靶材沒(méi)裝緊（換靶時(shí)螺絲沒(méi)擰到底）、靶面氧化嚴(yán)重（關(guān)機(jī)后沒(méi)關(guān)插板閥，空氣進(jìn)入腔室）、磁鋼移位（換靶時(shí)不小心碰到陰極）；
? 速修步驟（35 分鐘搞定）：
① 斷電拆靶：擰下靶材固定螺絲，若靶材和電極接觸處氧化發(fā)黑，用砂紙打磨干凈，靶面氧化層也用 800 目砂紙輕磨（別磨太厚，不然靶材就廢了）；
② 檢查磁鋼：打開(kāi)陰極后蓋，看磁鋼是否偏離定位刻線，移位了就按刻線復(fù)位，再用高斯計(jì)測(cè)磁場(chǎng)（正常≥3000Gs，低于 2000Gs 就得換磁鋼）；
③ 裝回試起輝：把靶材裝緊（螺絲對(duì)角擰，避免受力不均），再試起輝，若等離子體均勻，就說(shuō)明沒(méi)問(wèn)題了。
三、日常預(yù)防：2 個(gè)小習(xí)慣，減少 80% 起輝故障
1. 開(kāi)機(jī)前必做 “3 檢查”：查真空度（≤1×10?3Pa）、查氬氣流量（20-50sccm）、查電源參數(shù)（起輝電壓 / 功率是否正確）；
2. 每月維護(hù) “2 重點(diǎn)”：清理氣體管路（用壓縮空氣吹一次）、擰緊靶材接頭螺絲（避免接觸不良）、校準(zhǔn)電源參數(shù)（確保輸出穩(wěn)定）。
四、總結(jié)：按 “真空→電源→氣體→靶材” 排查，別瞎折騰
遇到無(wú)法起輝，別上來(lái)就拆電源、換靶材，按這個(gè)順序查：先看真空夠不夠，再查電源有沒(méi)有輸出，接著看氬氣通沒(méi)通，最后檢查靶材裝得對(duì)不對(duì)。80% 的問(wèn)題都能自己解決，既省維修費(fèi)，又不耽誤生產(chǎn)。如果遇到分子泵抱死、電源燒毀這類復(fù)雜故障，別自己修，找微儀真空這樣的專業(yè)團(tuán)隊(duì)上門，避免越修越壞。
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