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磁控濺射技術(shù)憑借薄膜成分可控、均勻性優(yōu)異、附著力強(qiáng)等特性,已成為微電子與納米技術(shù)領(lǐng)域的核心制備手段,支撐著芯片制造、納米器件等前沿領(lǐng)域的創(chuàng)新突破。在集成電路制造中,磁控濺射承擔(dān)著金屬化與絕緣層制備的核心角色: · 高精度金屬布線:通過濺射 Al-Cu、Cu 等合金薄膜,形成…
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